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    22日，由特变电工新疆硅业有限公司研发的专利——一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置获得2011年度新疆专利奖一等奖。这项专利不仅实现了多晶硅生产中尾气部分的回收利用，提升了整个工艺流程清洁环保能力，而且取得良好节能降耗效果，每年可为企业节省1875万元。

    据了解，目前国际上主流的多晶硅生产方法为改良西门子法。该方法生产过程中，会产生大量的包含氢气、氯化氢和氯硅烷的尾气，这些尾气若不加以回收利用，会造成原料的极大浪费并严重破坏环境。为解决这一问题，特变电工新疆硅业有限公司积极创新，研发出一套具有自主知识产权的尾气干法回收系统，并申请获得了专利。

    据专利发明人陈朝霞介绍，要实现尾气中氯化氢的分离回收，需通过吸收与解析两个工艺过程。在这两个过程中，都需要消耗大量能量。分离回收的氯化氢此时呈液态，若要进入后续工艺，还需将其加热汽化，传统多晶硅行业多通过电加热器实现汽化，不仅耗费大量电能，而且氯化氢纯度难以控制。

    由陈朝霞研制的一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置，利用尾气中的低温氯化氢液体，通过换热设备，与尾气中另一种需要回收的气体——高温氯硅烷液体进行热交换，换热后再作为低温吸收液体继续吸收尾气中的氯化氢。这样就形成了一个循环圈，将尾气产生的能量充分利用。

    通过实施专利，该公司每年可节约能量折合标煤1.31万吨，多晶硅产品质量也大大提升。